Schlagwort: nanokirigami
Eine einzigartige Strukturierungsstrategie basierend auf „resist nanokirigami“
Auf Fotolack basierende Strukturierungsstrategien sind seit der Erfindung der Fotolithografie über Jahrzehnte standardisiert worden. Allerdings gibt es noch große Herausforderungen bei der Verarbeitung bestimmter funktionaler Strukturen. Zum Beispiel erfordert der…