Schlagwort: Verbundbeschleunigungsmesser

Die Nachfrage nach mikroelektromechanischen Systemen (MEMS), die rauen Umgebungen standhalten, wächst. MEMS auf Siliziumbasis haben unter extremen Bedingungen zu kämpfen, da ihre Leistung bei erhöhten Temperaturen begrenzt ist. Siliziumkarbid (SiC)…