Schlagwort: SiliziumMEMS
Das Team entwickelt photonische Silizium-MEMS, die mit der Halbleiterfertigung kompatibel sind
Ein Forscherteam unter der Leitung von Niels Quack, außerordentlicher Professor der University of Sydney, hat eine neue Technologie entwickelt, um Optik und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in einem Mikrochip zu kombinieren…