Schlagwort: Nanostrukturierung

Silizium, der Grundstein moderner Elektronik, Photovoltaik und Photonik, war aufgrund der Herausforderungen, die bestehende lithographische Techniken mit sich brachten, bisher auf die Nanofabrikation auf Oberflächenebene beschränkt. Verfügbare Methoden können entweder…