Schlagwort: MikroskopprojektionsPhotolithographiesystem

Integrierte optische Signalverteilungs-, Verarbeitungs- und Erfassungsnetzwerke erfordern die Miniaturisierung grundlegender optischer Elemente wie Wellenleiter, Splitter, Gitter und optische Schalter. Um dies zu erreichen, sind Fertigungsansätze erforderlich, die eine hochauflösende Fertigung…