Schlagwort: GaNFernepitaxie
Aufdeckung der Auswirkung von AIN-Oberflächengruben auf die GaN-Fernepitaxie
Die Fernepitaxie hat im Bereich der Halbleiterfertigung zunehmend an Bedeutung gewonnen, um dünne Filme zu züchten, die die Kristallstruktur des Templats kopieren und später abgelöst werden können, um freistehende Membranen…