Schlagwort: Ellipsometriemessung
Ein kompaktes, auf Metaoberflächen-Arrays basierendes System für die spektroskopische Ellipsometriemessung mit einem Schuss
Die spektroskopische Ellipsometrie wird häufig in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt, beispielsweise bei der Herstellung integrierter Schaltkreise, Flachbildschirme und Solarzellen. Allerdings moduliert ein herkömmliches spektroskopisches Ellipsometer, wie in Abb. 1a dargestellt, den…