Schlagwort: Auflösungsgrenze
Überwindung der optischen Auflösungsgrenze
Bei der Messung mit Licht ist die laterale Ausdehnung der durch ein optisches Abbildungssystem auflösbaren Strukturen grundsätzlich beugungsbegrenzt. Die Überwindung dieser Einschränkung ist ein Thema von großem Interesse in der…